玻璃排氣的分類

發(fā)布日期：2021-06-16 來源: 蘭迪機器 瀏覽：

構(gòu)成真空玻璃的各種材料，如玻璃、不銹鋼、吸氣劑、玻璃焊料在空氣中放置時，材料表面都會吸收和溶解一定量的氣體。這些氣體是真空玻璃封離后真空層內(nèi)材料放氣的來源。真空玻璃屬于大表面積小體積的真空器件，1㎡的真空玻璃，其內(nèi)腔體積僅相當(dāng)于一個乒乓球的大小，因此，放出的氣體對真空玻璃中間層真空度的影響很大。常溫排氣封離的真空玻璃，其真空度將在幾小時內(nèi)迅速衰減。真空玻璃的排氣過程，不僅僅是將中間層的氣體充分排出，還需要將玻璃整體加熱到一定溫度，進(jìn)行烘烤排氣，使吸附在材料表面和溶解在材料內(nèi)部的氣體釋放到中間層并排出。

由于玻璃是構(gòu)成真空玻璃的主要材料，因此排氣溫度的設(shè)計首先應(yīng)考慮玻璃材料的排氣要求。玻璃在烘烤加熱時的氣源主要來自表面、表層和內(nèi)部三個方面。

1、玻璃表面

玻璃表面存在大量OH-，對水的親和力很強，因此玻璃表面吸附力大量的水分子和少量CO²， 部分氣體與玻璃表面是物理吸附和弱化學(xué)吸附，結(jié)合不牢，在真空中加熱到150℃左右時，幾分鐘內(nèi)就可以使氣體分子從玻璃表面解吸。

2、風(fēng)化表層

真空玻璃所使用的鈉鈣玻璃，其中含有較多的堿性氧化物，化學(xué)穩(wěn)定性差，易受水汽侵蝕，容易風(fēng)化。風(fēng)化層厚度一般為幾微米，所含氣體主要是H₂O，玻璃在真空中加熱到一定溫度時，水可從Si-OH-OH-Si結(jié)構(gòu)中平穩(wěn)脫出，形成Si-O-Si+H₂O，并使玻璃的風(fēng)化層復(fù)原。去除玻璃表層內(nèi)氣體需要在真空狀態(tài)加熱1h左右，也可在濕度小于60%的干燥空氣中加熱1h左右除去風(fēng)化層，其效果與真空除氣相當(dāng)。

3、玻璃體內(nèi)

玻璃體內(nèi)含有大量的氣體，主要是H2O及少量的CO²、O²和SO²，這種氣體需要通過較長時間的烘烤排除。

當(dāng)完成除氣后，如果玻璃的工作溫度不超過300℃，則體內(nèi)放氣對器件的真空度幾乎沒有影響，可以不考慮。